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三星率先为DRAM存储导入EUV技术 提升效率性能

【天极网手机频道】在半导系统体例造之中,光刻机是弗成或缺核心设备。最先辈的极紫外光刻机更多用于繁杂的逻辑芯片制造,不过三星已经将极紫外光刻机利用到DRAM内存颗粒的制造傍边。

三星在3月26日发布,已经出货100万第一代10nm EUV级(D1x)DDR4 DRAM模组,并完成举世客户评估,为往后高端PC、手机、企业级办事器等利用领域开启新大年夜门。

三星表示,将从第四代10nm级(D1a)DRAM或高端级14nm级DRAM开始周全导入EUV,明年基于D1a大年夜规模量产DDR5和LPDDR5内存芯片,估计会使12英寸晶圆的临盆率翻番。得益于EUV技巧,可以在精度更高的光刻中削减多次图案化的重复步骤,并进一步提升产能。

不过,今朝支持DDR5的PC平台尚未亮相,LPDDR5倒是已经徐徐铺开。三星量产的第一代EUV DDR5 DRAM单芯片容量为16Gb(2GB),地点是平泽市的V2线。

根据三星此前的预判,EUV将赞助公司至少推进到3nm尺度。

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